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第276章 解决方案[2/3页]
后就要挨打!
一时间,众人都有些忧愁。
“下个星期燕京有个会议,我也会去参加,到时我向上头领导汇报一下情况,看看能不能在政策层面获得一点支持。”马卫光淡淡
光刻机作为微电子装备首要攻关项目,已经被列入国家863重大科技攻关计划,有困难找领导,这事准没错!
众人齐齐点头,看来也只能这样了。
至于林本坚在湿式光刻法方面的研究倒是挺顺利。
湿式光刻法首先面临的问题就是要将水流不断的超纯水源源不断的固定在投影镜片与硅片之间,是所有的曝光光线从镜头射向超纯水最终到达硅片表面。
技术上的关键是如何固定水的形状,使它不会到处流动,从而产生缺陷甚至损坏设备。
对此林本坚团队做了种种实验,最终他们发现只要在水的周围施加一定量的干净压缩空气,同时通过真空将浸没区域外围流出的水完全吸走。
这样就可以不用让机械部件接触到硅片表面,又能将水阻挡在一定的区域范围内。
当然这只是他们构想出来的解决方案,真的要实现它还需要在实验室重复实验。
湿式光刻法更多面临的是技术上的难题,虽然也是困难重重,但是集体的智慧之下,一切也不再那么困难。
将光刻机项目的进展与困难了解了一遍之后,秦勋心中也大致有数。
这只团队集合了华夏光刻机领域最顶级的专家与人才,他相信在众志成城之下,他们在光刻机领域一定能有所突破。
……
在秦勋与众专家探讨光刻机问题的时候,刘氏集团新成立的投资公司会议室里也开始了他地晨会。
刘氏集团的投资公司有两个会议室,一个会议室稍大,可以容纳上百人的样子,不过这个会议室并不常开;另外一个会议室比较小,大概只能容纳30多人,但是这个会议室在每一个交易日的上午8.20分都会准时开放。
因为每一个交易日这里
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