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第199章 锦城[2/3页]

　　分子激光，而EUV光刻机则是激光激发等离子来发射EUV光子。

　　通过不同方式，二者发出的光源也不同。其中，DUV光刻机的波长能达到193纳米，而EUV光源的波长则为13.5纳米。

　　二者之间的差距十分明显，波长越短，所能实现的分辨率越高。

　　不过通过浸润式光刻技术，DUV光刻的极限应该能7纳米这个节点，想要再往下只能使用EUV光刻技术。

　　不过EUV光刻机镜头难度非常大。

　　为尽可能保证EUV光源能量不被损失，反射透镜对光学精度的要求极高，并且反射透镜表面还要镀有采用Mo/Si的多层膜结构。

　　现阶段全球只有一家公司能够做出这种精度的反射透镜，那就是德邦的蔡司公司。

　　没错，很多人佩戴的眼镜镜片就是蔡司公司生产的。

　　而DUV光刻对于镜片及很多其他零部件的要求会低一些，以国内薄弱的基础工业设施实现DUV光刻已经很勉强，现在EUV光刻法对他们来说还是太早。

　　随着几人的畅谈，时间很快就过去，飞机到达锦城上空准备降落。

　　锦城双流机场，一个青春靓丽的身影等待在机场。

　　一身黑色优雅的衬衣，外边穿着白色的小外套，头上戴了顶耐克的俏丽鸭舌帽，帽子下的一张精致俏丽的面孔。

　　不过此时这张俏丽的脸上似乎带着点焦急的神色，不时抬头看看电视显示屏上的时间表。

　　突然，略带焦急的脸上绽放出花一样的笑容，原来拐角处一群人拖着行李走了出来。

　　领头的是两老一小的三人组合。

　　三人的年龄差异很大，两位老人看上去都已经年近60，而年轻的估计都还没20岁。

　　说来也怪，三人走在一起，有说有笑，似乎一点都不违和。

　　秦勋！

　　伴随着一声悦耳动听的喊声，年轻身影抬起头来，一眼就看到了远处等待

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