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第331章 流片成功![3/3页]

  “能拉到。”

  他直起腰,

  “负5次方没问题,就是没人敢这么用。”

  “那就用。”林希说。

  王铁山没再犹豫。

  他抱着扳手绕到机器背面,拧开旁通阀。

  苏佩兰深吸一口气,坐回操作台。

  束流电流:10mA。

  加速电压:50keV。

  真空度读数开始往下掉。

  10的负3次方。

  负4次方。

  分子泵的声音变得尖锐。

  负5次方。

  稳住了。

  “注入。”林希说。

  苏佩兰按下启动键。

  机器轰鸣声骤然变调,像一头沉睡的野兽被唤醒。

  离子束击中硅片表面。

  六十秒。

  一百二十秒。

  注入结束。

  苏佩兰取出硅片,双手端着,走到显微镜前。

  车间里所有人的呼吸都停了。

  她把硅片放上载物台,调焦。

  看了三秒。

  又调了一下倍率。

  再看了五秒。

  她抬起头。

  嘴唇哆嗦了两下。

  “均匀的。”

  她的声音带着哭腔。

  “深度完全一致。”

  王铁山冲过去,把她从椅子上挤开,自己趴到目镜上看。

  看完,他直起腰,一屁股坐在了地上。

  “成了。”

  两个字。

  直播间弹幕彻底爆炸。

  【流片成功!!!华国硅基芯片流片成功了!!!】

  【1983年!自主光刻机+自主离子注入!流片流程打通!】

  【这帮老师傅是真的牛,参数给到位了,手上的活一点不含糊】

  【哭了哭了,跪在地上画版图,趴在机器前调参数,这就是华国芯片的第一步】

  林希站在车间中央。

  周围是沸腾的欢呼声。

  林希转头看向窗外。

  七月底的津门,太阳正落。

  晚霞把整个二厂的厂房染成暗红色。

  司徒渊不知道什么时候走到他旁边。

  两人并排站着,看着窗外。

  “林总。”司徒渊开口。

  “嗯。”

  “流片成功了,但这只是工程样片。”

  司徒渊推了推眼镜。

  “量产之前,还差最后一步,”

  “封装,测试。”

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