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第309章 手测参数注入数控大脑[3/3页]

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　　光刻机活了。

　　但活过来只是第一关。

　　三天后，第一批试制硅片进入湿法刻蚀环节。

　　刻蚀槽是陈默用不锈钢焊的，简陋但干净。

　　酸液配方按照教科书上的标准比例调配。

　　第一片硅片放进去.

　　计时，取出，纯水冲洗，推到显微镜下。

　　江俊看了一眼，脸色变了。

　　“侧蚀太严重。”

　　他让开目镜，林希凑上去看。

　　5微米的线条，被酸液从两侧啃进去将近2微米。

　　剩下的线宽不到1微米，有些地方已经断了。

　　换配方，提高酸液浓度。

　　第二片，断线更多。

　　降低浓度，缩短时间。

　　第三片，沟槽底部没刻透。

　　连续三个通宵。

　　十七种配方。

　　没有一片合格。

　　第四天凌晨，刻蚀车间里弥漫着酸雾的味道。

　　陈默靠在墙角打盹，江俊的眼睛布满血丝。

　　林希坐在角落，闭上眼睛。

　　脑海里，直播间的画面亮了起来。

　　他把问题原原本本地说了一遍。

　　弹幕沉默了十几秒。

　　然后一个ID冒了出来：【材料狗不睡觉】。

　　【别用纯HF。】

　　【现在的光刻胶耐酸性差，纯氢氟酸刻蚀速率太快，根本控不住侧向钻蚀。】

　　紧接着，第二条弹幕：

　　【加NH4F做缓冲剂。氟化铵和氢氟酸的摩尔比6:1，槽液温度锁死35度。这个配方叫BOE，缓冲氧化物刻蚀液。】

　　第三条：

　　【关键点：35度恒温。温度每波动1度，刻蚀速率变化8%。你们没有恒温槽的话，用水浴锅套着不锈钢槽，温度计插在水浴里，人工盯着。】

　　第四条，另一个ID【半导体搬砖人】：

　　【NH4F这东西你们1983年应该能搞到，化工厂有。纯度不用太高，分析纯就够。】

　　弹幕区停了一秒。

　　然后齐刷刷一排：

　　【大佬！】

　　【材料狗永远不睡觉，但永远能救命！】

　　【六比一！记住了！考试要考！】

　　林希睁开眼。

　　“陈师傅。”

　　“化工库房里有没有氟化铵？”

第309章 手测参数注入数控大脑[3/3页]

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